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发表时间:2019-12-06 09:32作者:武汉铄思百检测技术有限公司来源:铄思百检测

【国家标准】标准号:GB25185-2010-T

 中文名:表面化学分析X射线光电子能谱荷电控制和荷电校正方法的报告-国家标准、国标规范


 范围:

本标准以最少量的资料描述了用x射线光电子能谱测量绝缘样品内能级结合能,及将在报告其分析结果时所采用的荷电控制和荷电校正方法,也给出了在结合能测量过程中对于荷电控制和荷电校正有用的方法资料。


 原理:

x射线光电子能谱(XPS)广泛用于材料表面的表征。从测得的光电子谱中,得到样品表面各元素内能级的结合能,对照元素结合能表鉴别样品中的不同元素(除氢和氦以外)。通常可从内能级结合能相对于纯元素对应结合能的微小变化(一般介于0.1eV至10eV之间)获得被测元素化学态信息。测量可靠的化学位移通常需要校准XPS仪器的结合能标,其不确定度尽可能小至0.1eV。

由于绝缘样品表面荷电,在XPS测量时其表面电势往往发生变化,难以精确测定结合能以满足鉴别元素或确定化学态的需要。解决此问题分两步迸行,第一步,采用实验方法减少表面荷电量(荷电控制方法);第二步,在采集XPS数据后,校正表面荷电效应(荷电校正法)。尽管在某些情况下表面电荷积累使分析复杂化,但它还是能够用作获得有关样品信息的一种手段。

表面荷电量及其在样品表面的分布,以及它对于实验条件的依赖关系由多种因素决定,包括与样品及XPS能谱仪特性相关的因素。荷电积累已经得到了充分研究,它是一种发生在样品表面和内部的三维现象口’2]。荷电积累也可能发生在x射线辐照样品深度范围内的物相边界处或界面区域内。由于光电子和二次电子、x射线或加热引起某些样品的挥发或化学变化,荷电量会随时间变化,这类样品可能不会达到稳定的电位。

目前,还没有荷电控制或荷电校正的普遍适用的方法口“]。本标准规定了数据采集时荷电控制和,或,数据分析时荷电校正方法所应提供的资料。附录A给出了有关荷电控制和荷电校正通用方法的资料,在多数应用中均有效。在实际使用中,依据样品类型(如粉末,薄膜或厚样品)、仪器特性、样品尺寸以及样品表面可能需要按特定步骤修饰的程度,来选择特定荷电控制方法。

本标准有可能应用于两个主要领域。第一,本标准对将要在XPSbeplay体育app苹果报告中包括的有关荷电控制和(或)荷电校准方法的信息(如,从分析者到用户或出版物)加以区分,以评价、评估和重现绝缘材料的数据,保证相似样品的测量具有可比性。第二,执行本标准将使其他分析者有信心地采用已发表的结合能,使可靠的数据纳入XPS数据库。


 发布时间:2010-09-26

 实施时间:2011-08-01

 颁发部门:国家质量监督检验检疫总局

 


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