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XPS数据处理方法

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发表时间:2020-01-07 09:19作者:武汉铄思百检测来源:铄思百检测

XPS数据处理方法


XPS即X射线光电子能谱, 可以分析除了H,He以外的所有元素。测定精确到 0.1at%, 分辨率为 100 um, 分析深度在 1-3 nm 左右。 好了,XPS介绍到此结束,这篇文章本来也不是要讲XPS是什么的,而是交教给你该分析什么,以及怎么分析。

  认识xps分析软件avantage

  


  •   软件中文界面,简单易懂

      (1)全谱数据分析

      


  •   直接将全谱文件拖入软件内,或者打开“文件”,“导入”,全谱文件一般为命名为“survey”

      


  •   点击工具栏上的第一个“全谱识别”,软件会自动识别各个元素的峰,并且根据积分面积计算每个元素的原子比,有些元素含量很小的时候,软件会在后面打问号。

      (2)具体元素数据分析

      


  •   直接将单个元素的xps文件拖进来,可以看到此时只有原始数据。

      


  •   这个时候点击工具栏的第四个“峰拟合”,弹出“峰拟合”的操作界面。

      


  •   然后根据软件提示添加单个峰,此时也可以手动在应该出峰的位置手动添加。也可以手动微调软件自动添加的峰。添加完成后不要急着点确定。

      


  • 此时是关键的一步,点击“fit peaks”,然后点击“拟合这个层”,点一下会发现拟合的不好,这时候可以多点击几下,直到拟合数据和实验数据基本重合。


      (3)数据导出

      


  •   峰拟合结束后如何将数据导出?此时点击“报告”按钮,然后点击如图的excel图标,将数据文件保存。

      


  •   这个时候会自动弹出excel表格,将里面的数据复制到origin里面作图即可。

      


  •   这个时候xps的分析到作图就完成啦。

      (4)答疑环节

      问:所得的实验数据特别不好,锯齿特别多该怎么办?

      答:含量低时通常会这样,这个时候建议将数据进行平滑,方法为点击“修饰”,“平滑图谱”,然后点第三个“傅里叶变换”,效果较好。

      


  •   问:为什么点那个导出时候数据出不来,出现的还是以前的数据?

      答:这可能与excel里面的数据过多有关,可以重新新建一个保存路径,再导出就可以了。



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